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先穿上白色的防護(hù)服，再戴上白色的帽子，然后還要套上鞋套……進(jìn)入濰坊高新區(qū)企業(yè)浪潮華光光電子股份有限公司的生產(chǎn)車間前，記者在工作人員的指導(dǎo)下認(rèn)真做了如上的準(zhǔn)備工作。
近年來，半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)在我國發(fā)展得如火如荼。對(duì)于普通消費(fèi)者來說，往往只知道這種照明產(chǎn)品更省電、使用壽命更長，對(duì)其背后的生產(chǎn)環(huán)節(jié)特別是其中的核心材料知之甚少。記者近日在濰坊高新區(qū)采訪，深入浪潮華光光電子股份有限公司生產(chǎn)車間，近距離了解了半導(dǎo)體照明產(chǎn)品用外延片的詳細(xì)生產(chǎn)過程。
據(jù)介紹，浪潮華光光電子股份有限公司成立于1999年，主要產(chǎn)品有半導(dǎo)體照明產(chǎn)品和激光照明產(chǎn)品。浪潮華光在業(yè)內(nèi)廣為人知，不僅是因?yàn)樯a(chǎn)出諸多應(yīng)用產(chǎn)品，更主要的是由于其業(yè)務(wù)涉及化合物半導(dǎo)體外延材料、光電子器件，通過積極布局半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)鏈上游，結(jié)束了我國半導(dǎo)體照明芯片只能依靠進(jìn)口的歷史。
跟著工作人員，記者首先來到了生長外延片的車間。據(jù)介紹，外延片是半導(dǎo)體照明產(chǎn)品中芯片所用的原材料，是由很多物質(zhì)在高溫高壓的環(huán)境下生長出來的。因此，生長外延片的爐子是最為關(guān)鍵的設(shè)備。
隔著玻璃，只見幾臺(tái)大型的爐子在運(yùn)轉(zhuǎn)。“我們的外延爐溫度可以達(dá)到1000多℃，一次能長出幾十層或者100多層，然后得到的薄片就是外延片。”工作人員介紹說。
據(jù)了解，浪潮華光使用的外延爐均采購自德國和美國兩家最權(quán)威的外延爐生產(chǎn)廠商，一臺(tái)就需要2000萬元左右，而浪潮華光僅在濰坊的公司就擁有18臺(tái)外延爐。
“我們的濰坊公司擴(kuò)建時(shí)，濰坊高新區(qū)給了我們很大的支持，我們每買一臺(tái)外延爐，濰坊高新區(qū)就給我們補(bǔ)貼50%。”浪潮華光公司總經(jīng)理鄭鐵民介紹，濰坊高新區(qū)的財(cái)政補(bǔ)貼對(duì)于企業(yè)的發(fā)展幫助非常大，讓企業(yè)有能力盡快擴(kuò)大產(chǎn)能實(shí)現(xiàn)發(fā)展戰(zhàn)略。
緊接著，記者一行來到了切割外延片的車間。據(jù)介紹，外延片生長出來再到做成芯片只是一個(gè)大的過程，但中間需要經(jīng)過多個(gè)工藝環(huán)節(jié)。首先要把外延片切割成一個(gè)個(gè)的顆粒，根據(jù)功率等不同的指標(biāo)，一片外延片最少可以切成2000粒，最多時(shí)可以切出8萬粒。“我們可以想象一下，一個(gè)爐子能長出四五十片外延片，每一片若切出8萬粒，可以切出的芯片是很多的。“工作人員自豪地說。
外延片切割后，還要經(jīng)過2次蒸發(fā)、光刻、剪薄、鋸片和全檢等過程。這里的蒸發(fā)是指在外延片的表面蒸鍍黃金，用黃金做電極。
參觀完所有工序，記者來到了整個(gè)車間最后一個(gè)環(huán)節(jié)――篩選室。據(jù)介紹，即使同一片外延片切割出的顆粒，發(fā)光效率也會(huì)有所不同，一般位于外延片中間位置的芯片發(fā)光會(huì)亮一些，均勻性好一些，位于邊緣的顆粒各項(xiàng)指標(biāo)則會(huì)差一些，因此需要對(duì)芯片進(jìn)行篩選。由于外延片切割出的芯片顆粒數(shù)量巨大，如果靠人工則難以實(shí)現(xiàn)，浪潮華光采用的分選機(jī)能夠篩選出同一個(gè)波長、電流、電壓的芯片。
在浪潮華光參觀的過程中，無論是普通工作人員，還是該公司總經(jīng)理鄭鐵民，都多次提及濰坊高新區(qū)對(duì)企業(yè)發(fā)展提供的幫助。據(jù)介紹，濰坊高新區(qū)不但為企業(yè)提供設(shè)備補(bǔ)貼，還在企業(yè)進(jìn)口原料時(shí)，幫助企業(yè)爭取政策，降低進(jìn)口消費(fèi)稅，每年為企業(yè)節(jié)省成本720萬元，大幅提高外延片等相關(guān)產(chǎn)品的市場競爭力。
