先穿上白色的防護(hù)服,再戴上白色的帽子,然后還要套上鞋套……進(jìn)入濰坊高新區(qū)企業(yè)浪潮華光光電子股份有限公司的生產(chǎn)車間前,記者在工作人員的指導(dǎo)下認(rèn)真做了如上的準(zhǔn)備工作。
近年來,半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)在我國發(fā)展得如火如荼。對(duì)于普通消費(fèi)者來說,往往只知道這種照明產(chǎn)品更省電、使用壽命更長,對(duì)其背后的生產(chǎn)環(huán)節(jié)特別是其中的核心材料知之甚少。記者近日在濰坊高新區(qū)采訪,深入浪潮華光光電子股份有限公司生產(chǎn)車間,近距離了解了半導(dǎo)體照明產(chǎn)品用外延片的詳細(xì)生產(chǎn)過程。
據(jù)介紹,浪潮華光光電子股份有限公司成立于1999年,主要產(chǎn)品有半導(dǎo)體照明產(chǎn)品和激光照明產(chǎn)品。浪潮華光在業(yè)內(nèi)廣為人知,不僅是因?yàn)樯a(chǎn)出諸多應(yīng)用產(chǎn)品,更主要的是由于其業(yè)務(wù)涉及化合物半導(dǎo)體外延材料、光電子器件,通過積極布局半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)鏈上游,結(jié)束了我國半導(dǎo)體照明芯片只能依靠進(jìn)口的歷史。
跟著工作人員,記者首先來到了生長外延片的車間。據(jù)介紹,外延片是半導(dǎo)體照明產(chǎn)品中芯片所用的原材料,是由很多物質(zhì)在高溫高壓的環(huán)境下生長出來的。因此,生長外延片的爐子是最為關(guān)鍵的設(shè)備。
隔著玻璃,只見幾臺(tái)大型的爐子在運(yùn)轉(zhuǎn)。“我們的外延爐溫度可以達(dá)到1000多℃,一次能長出幾十層或者100多層,然后得到的薄片就是外延片。”工作人員介紹說。
據(jù)了解,浪潮華光使用的外延爐均采購自德國和美國兩家最權(quán)威的外延爐生產(chǎn)廠商,一臺(tái)就需要2000萬元左右,而浪潮華光僅在濰坊的公司就擁有18臺(tái)外延爐。
“我們的濰坊公司擴(kuò)建時(shí),濰坊高新區(qū)給了我們很大的支持,我們每買一臺(tái)外延爐,濰坊高新區(qū)就給我們補(bǔ)貼50%。”浪潮華光公司總經(jīng)理鄭鐵民介紹,濰坊高新區(qū)的財(cái)政補(bǔ)貼對(duì)于企業(yè)的發(fā)展幫助非常大,讓企業(yè)有能力盡快擴(kuò)大產(chǎn)能實(shí)現(xiàn)發(fā)展戰(zhàn)略。
緊接著,記者一行來到了切割外延片的車間。據(jù)介紹,外延片生長出來再到做成芯片只是一個(gè)大的過程,但中間需要經(jīng)過多個(gè)工藝環(huán)節(jié)。首先要把外延片切割成一個(gè)個(gè)的顆粒,根據(jù)功率等不同的指標(biāo),一片外延片最少可以切成2000粒,最多時(shí)可以切出8萬粒。“我們可以想象一下,一個(gè)爐子能長出四五十片外延片,每一片若切出8萬粒,可以切出的芯片是很多的。“工作人員自豪地說。
外延片切割后,還要經(jīng)過2次蒸發(fā)、光刻、剪薄、鋸片和全檢等過程。這里的蒸發(fā)是指在外延片的表面蒸鍍黃金,用黃金做電極。
參觀完所有工序,記者來到了整個(gè)車間最后一個(gè)環(huán)節(jié)――篩選室。據(jù)介紹,即使同一片外延片切割出的顆粒,發(fā)光效率也會(huì)有所不同,一般位于外延片中間位置的芯片發(fā)光會(huì)亮一些,均勻性好一些,位于邊緣的顆粒各項(xiàng)指標(biāo)則會(huì)差一些,因此需要對(duì)芯片進(jìn)行篩選。由于外延片切割出的芯片顆粒數(shù)量巨大,如果靠人工則難以實(shí)現(xiàn),浪潮華光采用的分選機(jī)能夠篩選出同一個(gè)波長、電流、電壓的芯片。
在浪潮華光參觀的過程中,無論是普通工作人員,還是該公司總經(jīng)理鄭鐵民,都多次提及濰坊高新區(qū)對(duì)企業(yè)發(fā)展提供的幫助。據(jù)介紹,濰坊高新區(qū)不但為企業(yè)提供設(shè)備補(bǔ)貼,還在企業(yè)進(jìn)口原料時(shí),幫助企業(yè)爭取政策,降低進(jìn)口消費(fèi)稅,每年為企業(yè)節(jié)省成本720萬元,大幅提高外延片等相關(guān)產(chǎn)品的市場競爭力。










